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压力传感器的的制作工艺及优缺点对比

  • 文章来源:北京力诺
  • 发布时间:2018-12-03 09:26
  • 阅读人数:
  • 文章作者:力诺传感器科技
现在国内市场,有多种工艺制作的压力传感器压力变送器生产厂商,主要常见的产品为扩散硅、厚膜陶瓷式、应变片式、溅射薄膜式、电容式、石英片式、蓝宝石式等工艺产品,以下为各种产品的原理性能特点对比:

扩散硅压力传感器


采用国际进口陶瓷传感器,配以高精密电子元件,经严格要求的工艺过程装配而成。
扩散硅压力传感器
优点:
1.精度(线性、重复性、迟滞)优于低端产品。
2.压力量程有一定的局限性,小量程或绝压优于其它低端产品。
3.价格比较优惠。
缺点:
1.低于0高于40℃后,温度稳定性性能有大幅度降低。
2.不能承受动态压力,膜片易损坏。
3.温度漂移大。

应变式压力传感器


利用弹性敏感元件和应变计将被测压力转换为相应电阻值变化的传感器。
应变式压力传感器
优点:
1.成本低。
2.成熟的胶粘工艺。
缺点:
1.靠手工生产,离散性大。
2.由胶引起的时漂大;稳定性差。

电容式压力传感器


利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的传感器。
电容式压力传感器
优点:
1.工艺成熟;稳定性优;过载能力。
2.抗腐蚀性好。
缺点:
1.体积大;成本高。
2.不易安装。

蓝宝石压力传感器


利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有无与伦比的计量特性。

蓝宝石压力传感器
优点:
1.温度范围宽、量程范围宽。
2.抗辐射性强。
3.体积小,重量轻。
缺点:
1.成本高。
2.温度漂移大。

石英薄膜压力传感器


采用国际先进的纳米薄膜技术将石英绝缘晶体与钛合金弹性材料膜片有效的结合在一起。
石英薄膜压力传感器
优点:
1.高精度;量程、温度范围宽;年稳定性高。
2.体积小、重量轻、耐腐蚀;适合在恶劣环境下使用。
3.高温熔焊技术,纳米薄膜工艺,动态响应快,过载能力强。
缺点:
1.成本高。
2.不适合做超小量程和差压测量。
3.国内此工艺生产厂家少。
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